半导体生产设备精密执行方案

半导体生产设备精密执行方案

Semiconductor Equipment

半导体生产设备精密执行全套方案

半导体晶圆搬运、芯片封装、精密对位工序,对设备洁净度、定位精度、工件防护有着严苛标准。宇视嘉针对半导体前道、后道全流程设备需求,打造洁净友好型微型精密传动与末端执行一体化方案,适配高洁净、高节拍产线环境,稳定实现微米级精准定位与无损伤抓取。

半导体生产设备精密执行全套方案

核心解决方案优势

洁净友好传动

采用微型电缸紧凑化布局搭配低产尘结构设计,摩擦部件防尘降噪,满足无尘车间低颗粒物管控标准,设备易清洁、维护便捷,适配半导体严苛洁净生产环境。

微米级定位

搭载高分辨率位置反馈元件与闭环运动控制,位移控制精度可达微米级,平稳完成晶圆转运、芯片贴合、视觉对位等高精度工位动作,保障产线高节拍稳定运行。

柔顺夹持保护

配套陶瓷材质夹爪,结合智能力控控制策略,兼顾刚性精准定位与柔性缓冲防护,抓取力度智能可调,有效降低晶圆碎裂、芯片表面划伤风险,减少工件报废损耗。

典型应用场景

晶圆精密放置

晶圆精密放置

高重复定位精度支撑晶圆取放与工位切换,保障节拍与良率。

陶瓷夹爪抓取

陶瓷夹爪抓取

适配半导体陶瓷部件与易损工件的洁净、柔顺夹持。

精密压合检测

精密压合检测

可控压合力与位置闭环,服务键合、压测等关键工序。

定制专属高精密作动解决方案

我们的技术专家将为您提供一对一的选型指导与技术支持,助力产线效率与性能提升。

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